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[发明专利]超精密微结构散热片的制备方法-CN201911036539.1在审
发明人：李延钢;许鑫 -专利权人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C25D5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种超精密微结构散热片的制备方法，包括：在硅片表面刻蚀出微结构的凸块或凹孔，得到硅片模具；将硅片模具上的微结构转印至透明基材上；将透明基材上的微结构转印到金属层上，金属层表面得到通过胶层转印的微结构；刻蚀掉微结构底部与金属层接触的胶层；采用电化学沉积的方法在金属层的微结构的凹孔底部沉积与金属层相同材质的金属微结构，除去多余胶层，得到表面具有超精密微结构的金属散热片。制备的微结构一致性好，可有效增加毛细结构的有效面积，减少毛细结构热传导过程中热阻的产生。
精密微结构散热片制备方法

[发明专利]金属微结构形成方法-CN200910163069.5无效
发明人：王宏杰;黄雅如 -专利权人：技鼎股份有限公司
申请日： 2009-08-21 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属微结构形成方法，是应用于微结构组件制造过程，利用本发明的金属微结构形成方法，于形成微结构组件的立体金属微结构时，无须电镀第二种金属以围绕在金属外围、且无须蚀刻第二种金属，而可降低电镀所造成的残留应力、金属层间不会有残留应力，金属所附着的基板不致变形，而不致影响微结构组件后续制造过程进行，且，由于无须蚀刻第二种金属，因而，不会有蚀刻液渗入每层接口的问题，不会造成每层的附着力降低，而不致影响微结构组件的功能
金属微结构形成方法

[发明专利]金属微结构形成方法-CN201210058118.0无效
发明人：王宏杰;黄雅如 -专利权人：技鼎股份有限公司
申请日： 2009-08-21 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属微结构形成方法，是应用于微结构组件制造过程，利用本发明的金属微结构形成方法，于形成微结构组件的立体金属微结构时，无须电镀第二种金属以围绕在金属外围、且无须蚀刻第二种金属，而可降低电镀所造成的残留应力、金属层间不会有残留应力，金属所附着的基板不致变形，而不致影响微结构组件后续制造过程进行，且，由于无须蚀刻第二种金属，因而，不会有蚀刻液渗入每层接口的问题，不会造成每层的附着力降低，而不致影响微结构组件的功能
金属微结构形成方法

[发明专利]微结构制造方法-CN200910174511.4有效
发明人：陈晓翔;叶力垦;刘政谚 -专利权人：微智半导体股份有限公司
申请日： 2009-09-28 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于半导体制程的微结构制造方法。此微结构制造方法包括以下步骤。先形成内含有微结构、多个金属电路与金属连接层的绝缘层于硅基底上。其中微结构与金属电路平行并排于绝缘层内，金属连接层则与金属电路电性连接，且金属连接层外露于绝缘层表面。之后，沉积保护层于金属连接层与绝缘层表面，并进行蚀刻以令微结构悬浮。借此避免微结构与金属连接层遭到蚀刻液侵蚀破坏。
微结构制造方法

[发明专利]一种用于光栅制作的硅基微结构金属填充方法-CN201510956240.3有效
发明人：雷耀虎;牛憨笨;李冀;郭金川;刘鑫 -专利权人：深圳大学
申请日： 2015-12-18 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光栅制作的硅基微结构金属填充方法，包括：对硅基微结构进行表面改性处理，覆盖二氧化硅薄膜；配置浓度为1％‑20％的初级浸润溶液；将初级浸润溶液滴加到硅基微结构表面，待溶剂挥发、浸润材料附着在硅基微结构表面及内壁后，重复滴加；配制饱和浸润溶液，将硅基微结构放置于真空炉并倒入饱和浸润溶液至没过其表面，取出后置于超声机中振荡；将硅基微结构背面及上表面残留的浸润材料直接擦除；在真空条件下，硅基微结构浸入熔化的X射线强吸收重金属中，加压使得重金属进入硅基微结构内部。本发明工艺步骤简单、制作的硅基金属微结构金属填充率高、均匀性好、适用于任意面积的硅基微结构金属填充。
硅基微结构金属填充浸润微结构表面光栅制作浸润材料重金属饱和表面改性处理二氧化硅薄膜熔化浸入工艺步骤硅基金属均匀性好溶剂挥发真空条件超声机强吸收溶液滴上表面真空炉振荡擦除滴加附着内壁加压配制背面残留取出重复覆盖配置制作

[发明专利]十字分型结构太赫兹滤波器-CN201810875756.9在审
发明人：李九生;邓玉强 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01P1/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种十字分型结构太赫兹滤波器，它包括第一金属微结构层、介质层、第二金属微结构层，以及位于第一金属微结构层顶部的信号输入端，以及位于第二金属微结构层底部的信号输出端，第一金属微结构层、金属介质层与第二金属微结构层无缝连接，信号从信号输入端输入，经过十字分型结构太赫兹滤波器，最后从信号输出端输出，本发明具有结构简单、滤波效率高，尺寸小，成本低、可实物加工等优点。
金属微结构滤波器分型信号输出端信号输入端金属介质层滤波效率无缝连接介质层实物输出加工

[发明专利]一种高灵敏度太赫兹传感器及其制备方法-CN202210549192.6在审
发明人：叶云霞;牟同麟;张雅博;赵锐;戴子杰;任旭东 -专利权人：江苏大学
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G01N21/3586 文献下载
摘要：本发明提供了一种高灵敏度太赫兹传感器，包括：基底；金属微结构阵列，包括若干金属微结构单元，所述金属微结构阵列覆盖于所述基底上，形成超表面；金属纳米结构，所述金属纳米结构位于所述金属微结构阵列的缝隙处；其中，所述金属微结构阵列以及金属纳米结构均通过脉冲激光直写刻蚀基底上的金属薄膜形成。本发明通过超表面和金属纳米结构协同增强太赫兹波，促进太赫兹波与分析物充分作用，提升太赫兹检测灵敏度。
一种灵敏度赫兹传感器及其制备方法

[发明专利]一种基于阵列式微结构的柔性SERS基底及其制备方法-CN202111025756.8在审
发明人：龚天巡;李浩楠;王桂林;关芳;严博远;黄文;张晓升 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明属于纳米技术领域，提供一种基于阵列式微结构的柔性SERS基底及其制备方法用以解决现有柔性SERS基底采样时基底表面的贵金属微结构易被损坏的问题。本发明基底包括：柔性薄膜基材、孔洞微结构、贵金属薄膜层以及贵金属纳米颗粒，孔洞微结构呈阵列式分布于柔性薄膜基材表面，贵金属薄膜层覆盖于阵列式孔洞微结构表面，贵金属纳米颗粒填充于阵列式孔洞微结构内。本发明基于金属化的阵列式孔洞微结构与贵金属纳米颗粒共同增强待测物分子的拉曼信号，使得基底具有均一性好、高灵敏度的优点；同时，擦拭采样时金属化的阵列式孔洞微结构会对内部的贵金属纳米颗粒起到保护的作用，使其不易被擦除损坏
一种基于阵列式微结构柔性 sers 基底及其制备方法

[发明专利]整版多穴菲涅尔微结构模具的制作方法-CN201911182470.3有效
发明人：徐甜;开小超;李丹 -专利权人：诚瑞光学（常州）股份有限公司
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明提供了整版多穴菲涅尔微结构模具的制作方法，该制作方法包括：预制一个具有预定微结构的单穴金属母模；利用单穴金属母模上的预定微结构并在单穴金属母模上连续执行金属模板制作步骤，获得多个具有所需微结构的金属模板；将多个金属模板拼接形成整版多穴菲涅尔微结构模具。本发明的整版多穴菲涅尔微结构模具的制作方法可以仅用到一个单穴金属母模，再以该单穴金属母模反制出多个同样的金属模板，可实现在降低成本的基础上，保证整版多穴菲涅尔微结构模具的整体性能。
整版多穴菲涅尔微结构模具制作方法

[实用新型]一种立体超材料微结构-CN201520297449.9有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：深圳光启创新技术有限公司
申请日： 2015-05-08 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： H01Q15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立体超材料微结构，包括介质层、第一微结构层和第二微结构层，所述第一微结构层和第二微结构层分别位于所述介质层的不同表面，所述第一微结构层的第一端通过第一金属化过孔与所述第二微结构层的第一端电连接，所述第一微结构层的第二端通过第二金属化过孔与所述第二微结构层的第二端电连接，所述第一金属化过孔和第二金属化过孔穿过所述介质层。本立体超材料微结构可以对电磁波产生电响应和/或磁响应，并且容易制作。
一种立体材料微结构

[发明专利]一种具有类三角形微结构的负磁导率超材料-CN201410690309.8在审
发明人：张永超 -专利权人：张永超
申请日： 2014-11-25 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： H01Q15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有类三角形微结构的负磁导率超材料，包括介质基板和固定在介质基板上的微结构层；微结构层包括N个呈周期性阵列排列的单个微结构，N≥1；单个微结构包括三根金属线，三根金属线分别为第一金属线、第二金属线和第三金属线，三根金属线的长度相等；每根金属线均呈L形，L形的夹角为60度，L形的末端为弯折结构，弯折结构为矩形脉冲形状；单个微结构呈类三角形，三根金属线在同一平面上围绕同一中心旋转排列，组成类三角形采用本发明实施例，采用包括弯折结构的类三角形微结构，可以减小微结构的尺寸，降低负磁导率超材料的谐振频率，采用旋转对称的微结构类型，使得超材料具有各向同性的特性。
一种具有三角形微结构磁导率材料

[发明专利]精密电铸微复型金属微结构的制作方法-CN201610927889.7在审
发明人：刘红忠;范禅金;史永胜;尹磊;陈邦道 -专利权人：常州瑞丰特科技有限公司
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： C25D1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密电铸微复型金属微结构的制作方法，包括以下步骤母模具前处理；PDMS模具制作；PU模具制作；导电层制备在真空环境下在PU模具上沉积一层导电金属薄膜；电铸微复型将有导电层的PU模具置于电铸槽的电铸液中进行金属微结构的精密电铸沉积复型；金属微结构的脱模将精密电铸沉积后的硬质背衬‑PU模具‑金属微结构放入装有溶剂的容器中进行加热超声；当PU在溶剂中变软溶解后，机械脱模将金属微结构与PU模具分离，得到最终的复型金属微结构。本发明既保护了母模具可多次利用，易脱模，成本低，又保证了复型金属微结构的精度和完整性。
精密电铸微复型金属微结构制作方法

[发明专利]一种能实现工作于两个频段的单向圆偏振片的亚波长金属微结构阵列-CN201510252045.2有效
发明人：康明 -专利权人：天津师范大学
申请日： 2015-05-18 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： G02B5/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种能实现工作于两个频段的单向圆偏振片的亚波长金属微结构阵列设计，其特征是包括两层亚波长金属微结构阵列和中间衬底层，亚波长金属微结构阵列位于衬底层的两面，上层亚波长金属微结构阵列的单元由Z字形金属线构成，而下垂亚波长金属微结构阵列的单元由连续金属线构成。中间层的衬底材料为玻璃，金属层的材料为金。本发明的优点是该亚波长金属微结构阵列可以作为工作于两个频段的单向圆偏振片；该亚波长金属微结构阵列结构简单、制备容易且制备材料获取方便，适用范围非常广泛，利用这种器件，在一定的波长范围内，实现不同电磁应用要求
一种实现工作两个频段单向偏振波长金属微结构阵列

[发明专利]一种太赫兹微流传感器-CN202011210157.9有效
发明人：邓琥;王民昌;尚丽平;康莹;杨洁萍;武志翔;熊亮;熊中刚;屈薇薇;李占锋;何俊 -专利权人：西南科技大学;西安近代化学研究所
申请日： 2020-11-03 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01N21/3581 文献下载
摘要：本发明涉及一种太赫兹微流传感器，包括从下到上依次设置的基底、金属反射镜面、金属微结构层和盖层，所述盖层与所述金属反射镜面之间形成微流通道；所述金属微结构层包括多个周期排列的金属微结构，所述金属微结构包括两个I型微结构单元。本发明采用双I型微结构单元作为谐振单元，增加了与待测样品的接触面积，增强了太赫兹波与待测样品的相互作用，产生具有高Q值的谐振，提高了灵敏度。
一种赫兹流传

[发明专利]陶瓷基超材料及其制造方法-CN201510125149.7有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司
申请日： 2015-03-20 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： H01Q15/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种陶瓷基超材料的制造方法，其中的金属微结构的线条容易具备本征的连续性。该制造方法用已加工好的金属线、金属窄条或金属箔来构建可形成金属微结构的金属微结构图案；用流延法将陶瓷浆料制成生坯片，用所述生坯片夹持或携带所述金属微结构图案；还将所述生坯片重叠在陶瓷基片上，并压合，再烧结，烧结温度足在所述金属熔点以下，并且能使生坯片烧结成的流延片固定所述金属微结构图案形成的金属微结构，同时也能与陶瓷基板结合，以形成陶瓷基超材料。
陶瓷材料及其制造方法

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